透明導(dǎo)電膜(transparent conductive film，簡(jiǎn)稱TCF)目前最主要的應(yīng)用是ITO膜，還有其他AZO等。

?透明導(dǎo)電膜(TCF)在太陽(yáng)能電池上主要用作電池的透明電極，有些還可同時(shí)作為減反射膜。不同透明導(dǎo)電膜的電學(xué)、光學(xué)以及結(jié)構(gòu)等都不相同，亦對(duì)太陽(yáng)能電池的光電特性和輸出特性(如電池的內(nèi)外量子效率、短路電流、開(kāi)路電壓、填充因子等)產(chǎn)生不同的影響。一般，在太陽(yáng)能電池中對(duì)透明導(dǎo)電膜的要求是載流子濃度高、帶隙寬度大、光電特性好、化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定、較低的電阻率、機(jī)械強(qiáng)度高以及優(yōu)良的耐磨損性等。

ITO 薄膜是一種半導(dǎo)體透明薄膜，它是氧化銦錫( indium tin ox ide) 英文名稱的縮寫。有學(xué)者將氧化銦系列(In2O 22SnO 2)也稱之為ITO 薄膜。作為透明導(dǎo)電電極，要求ITO薄膜有良好的透明性和導(dǎo)電性。所以，此類材料的禁帶寬度E g 一般都大于3 eV ，其摻雜組分要偏離化學(xué)計(jì)量比。ITO 薄膜的制備方法有蒸發(fā)、濺射、反應(yīng)離子鍍、化學(xué)汽相沉積、熱解噴涂等，但使用最多的是反應(yīng)磁控濺射法[ 1，2 ]。與其它透明導(dǎo)電薄膜相比，ITO 薄膜具有良好的化學(xué)穩(wěn)定性、熱穩(wěn)定性以及良好的圖形加工特性。