微機(jī)電系統(tǒng)是微米大小的機(jī)械系統(tǒng)，其中也包括不同形狀的三維平板印刷產(chǎn)生的系統(tǒng)。這些系統(tǒng)的大小一般在微米到毫米之間。在這個大小范圍中日常的物理經(jīng)驗(yàn)往往不適用。比如由于微機(jī)電系統(tǒng)的面積對體積比比一般日常生活中的機(jī)械系統(tǒng)要大得多，其表面現(xiàn)象如靜電、潤濕等比體積現(xiàn)象如慣性或熱容量等要重要。它們一般是由類似于生產(chǎn)半導(dǎo)體的技術(shù)如表面微加工、體型微加工等技術(shù)制造的。其中包括更改的硅加工方法如壓延、電鍍、濕蝕刻、干蝕刻、電火花加工等等。

?

　　微機(jī)電系統(tǒng)是從微傳感器發(fā)展而來的，已有幾次突破性的進(jìn)展：

　　70年代微機(jī)械壓力傳感器產(chǎn)品問世

　　80年代末研制出硅靜電微馬達(dá)

　　90年代噴墨打印頭，硬盤讀寫頭、硅加速度計(jì)和數(shù)字微鏡器件等相繼規(guī)?；a(chǎn)

　　充分展示了微系統(tǒng)技術(shù)及其微系統(tǒng)的巨大應(yīng)用前景

　　經(jīng)濟(jì)利益：

　　1.大批量的并行制造過程；

　　2.系統(tǒng)級集成；

　　3.封裝集成；

　　4.與IC工藝兼容。

　　技術(shù)利益：

　　1.高精度；

　　2.重量輕，尺寸小；

　　3.高效能；

　　4.材料優(yōu)勢。

　　1、在噴墨打印機(jī)里作為壓電元件；

　　2、在汽車?yán)镒鳛榧铀僖?guī)來控制碰撞時安全氣囊防護(hù)系統(tǒng)的施用；

　　3、在汽車?yán)镒鳛橥勇輥頊y定汽車傾斜，控制動態(tài)穩(wěn)定控制系統(tǒng)；

　　4、在輪胎里作為壓力傳感器，在醫(yī)學(xué)上測量血壓；

　　5、數(shù)字微鏡芯片；

　　6、在計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)中充當(dāng)光交換系統(tǒng)，這是一個與智能灰塵技術(shù)的融合。