電子探針主要有電子光學(xué)系統(tǒng)（鏡筒）、X射線譜儀和信息記錄、顯示系統(tǒng)，如下圖所示：

　　1、樣品制備方便，不損耗原始樣品。

　　2、把分析成分與顯微組織觀察有機(jī)的結(jié)合起來。

　　3、分析的靈敏度達(dá)到10-4～10-6g，而絕對量可達(dá)到10-15～10-18g。

　　4、分析區(qū)域可小到幾個微米，能提供元素微觀尺度的成分的不均勻信息。

　　1、金屬材料的相分析、成分分析和夾雜物形態(tài)成分鑒定。

　　2、金銀飾品、寶石首飾的鑒別，考古和文物鑒定，以及刑偵鑒定等領(lǐng)域。

　　3、高分子、陶瓷、混凝土、生物、礦物、纖維等無機(jī)或有機(jī)固體材料分析。

　　4、可對固體材料的表面涂層、鍍層進(jìn)行分析，如：金屬化膜表面鍍層的檢測。

　　5、進(jìn)行材料表面微區(qū)成分的定性和定量分析，在材料表面做元素的面、線、點(diǎn)分布分析。