1959年，1965年諾貝爾物理學獎獲得者Richard P Feynman提出微型機械的構想。

　　1962年，硅微型壓力傳感器問世，之后50～500微米的齒輪，齒輪泵，氣動渦輪及聯(lián)接件等微系統(tǒng)問世。

　　1966-1972年，基本的微加工技術發(fā)展，制造出微機械元件。

　　1988年，加州大學伯克利分校制造出60-12微米直徑的硅微型靜電機。

　　1980年代，硅微加工技術迅猛發(fā)展，利用犧牲層腐蝕技術獲得了微可動機構。

　　1、生產(chǎn)中的特點

　　MOEMS可以實現(xiàn)大批量生產(chǎn)。由于采用了集成電路芯片的生產(chǎn)技術，MOEMS芯片本身的封裝已經(jīng)達到了高度的集成化，其生產(chǎn)成本也大幅度降低。

　　2、結構上優(yōu)勢與特點

　　MOEMS的體積非常小，尺寸小至幾微米，大也不過幾毫米；響應速度在100ns～1s的范圍內(nèi)；其可動結構通常由靜電致動，致動能為CV2／2；其結構可以做到相當復雜，包含元件數(shù)目達到1個～106個。

　　3、動作上特點

　　通過精確的驅(qū)動和控制，MOEMS中的微光學元件可實現(xiàn)一定程度或范圍的動作，這種動態(tài)的操作包括光波波幅或波長的調(diào)整、瞬態(tài)的延遲、衍射、反射、折射及簡單的空間自調(diào)整。上述任何兩、三種操作的結合，都可以對入射光形成復雜的操作，甚至實現(xiàn)光運算和信號處理。