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某些電介質(zhì)沿著某一個方向受力而發(fā)生機(jī)械變形(壓縮或伸長)時,其內(nèi)部將發(fā)生極化現(xiàn)象,而在其某些表面上會產(chǎn)生電荷。當(dāng)外力去掉后,它又會重新回到不帶電的狀態(tài),此現(xiàn)象稱為“壓電效應(yīng)”。
壓電式壓力傳感器是利用壓電材料的壓電效應(yīng)將被測壓力轉(zhuǎn)換為電信號的。由壓電材料制成的壓電元件受到壓力作用時產(chǎn)生的電荷量與作用力之間呈線性關(guān)系:
Q=kSp
式中 Q為電荷量;k為壓電常數(shù);S為作用面積;p為壓力。通過測量電荷量可知被測壓力大小。
圖1為一種壓電式壓力傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖。壓電元件夾于兩個彈性膜片之間,壓電元件的一個側(cè)面與膜片接觸并接地,另一側(cè)面通過引線將電荷量引出。被測壓力均勻作用在膜片上,使壓電元件受力而產(chǎn)生電荷。電荷量一般用電荷放大器或電壓放大器放大,轉(zhuǎn)換為電壓或電流輸出,輸出信號與被測壓力值相對應(yīng)。
更換壓電元件可以改變壓力的測量范圍;在配用電荷放大器時,可以用將多個壓電元件并聯(lián)的方式提高傳感器的靈敏度;在配用電壓放大器時,可以用將多個壓電元件串聯(lián)的方式提高傳感器的靈敏度。
壓電式壓力傳感器體積小,結(jié)構(gòu)簡單,工作可靠;測量范圍寬,可測100MPa以下的壓力;測量精度較高;頻率響應(yīng)高,可達(dá)30kHz,是動態(tài)壓力檢測中常用的傳感器,但由于壓電元件存在電荷泄漏,故不適宜測量緩慢變化的壓力和靜態(tài)壓力。