光柵尺--利用光的干涉和衍射原理制作而成的傳感器。當(dāng)兩塊柵距相同的光柵疊放在一起，同時(shí)讓線紋構(gòu)成一微小角度，這時(shí)在平行光照射下，與刻線垂直方向上就能看到對(duì)稱分布的明暗相間的條紋，稱為莫爾條紋，因此莫爾條紋是光的衍射和干涉作用的總效果。當(dāng)光柵移動(dòng)一個(gè)小柵距時(shí)，莫爾條紋隨之移動(dòng)一個(gè)條紋間距，這樣，我們測(cè)量莫爾條紋的寬度就比測(cè)量光柵線紋寬度容易的多。此外，由于每條莫爾條紋都是由許多光柵線紋的交點(diǎn)組成，當(dāng)線紋中有一條線紋有誤差時(shí)（間距不等或傾斜），這條有誤差的線紋和另一光柵線紋的交點(diǎn)位置將產(chǎn)生變化。但是，一條莫爾條紋是由許多光柵線紋交點(diǎn)組成，因此，一個(gè)線紋交點(diǎn)位置的變化，對(duì)于一條莫爾條紋來講其影響就非常小了，所以莫爾條紋可以起到放大和平均的作用。

　　磁柵尺--利用磁極的原理制作而成的傳感器?；呤潜痪鶆虼呕匿搸?。S和N極均勻間隔排列在鋼帶上，通過讀數(shù)頭讀取S，N極的變化來記數(shù)。

　　光柵尺受溫度影響較大，一般使用環(huán)境在40攝士度以下。（三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)一般都要求在恒溫橫濕環(huán)境下測(cè)量，保證測(cè)量精度。）

　　敞開式磁柵尺容易受磁場(chǎng)影響，封閉式磁柵尺則無此困擾，但成本較高。