MOS管可以可靠關(guān)斷。漏電流是否有點大，端視你要求或者說允許多大漏電流。
其它方案當(dāng)然有，很多。

你去搜下軟開關(guān)嘛，很多方案的

站內(nèi)搜索，有很多方案供選擇。

MOS管 三極管 IGBT 可控硅 繼電器 干簧管 。。。。

你的要求太泛了。。。

充電電流從0~20mA可設(shè)，漏電流檢測范圍從0~5000uA，誤差±5uA。

此電路大致上可以實現(xiàn)你的要求。
MOS管漏電流很小，uA數(shù)量級甚至更小，不必考慮。
充電完成后，斷電是將450V與電容正端分離，故MOS管內(nèi)寄生二極管不會使電容對450V電源放電。
你的這個電路有點危險：電容有充電電路，卻沒有放電電路。這么大的電容，又充電到這么高電壓，電容存儲了不少能量，對操作人員是有危險的，足夠電死人。建議增加電容放電電路，當(dāng)然必須是可控的。

若要開關(guān)(控制器件)放到電容正端(這樣電壓測量可以有一端接地)，需要使用P溝管。但P溝管比N溝管貴，而且不容易做高電壓，好像沒有500V以上的P溝管。

更合適的方案，可能是每路電容使用一個小功率開關(guān)恒流輸出電源，這樣容易將電容負端接地，方便電壓測量，也方便電容放電。

1000個電容？
要多大的地方呀？
難道必須每個電容測試嗎？
不可以每10個一組測量？這樣成本省一點。
設(shè)計調(diào)試這個一個1000個電容的測試系統(tǒng)，還是需要很多投入的。

你這個應(yīng)該用干簧繼電器。

1000個電容, 有損限流, 很不爽, 充電脈沖對電網(wǎng)污染也很大.
再不濟也串個電感+二極管回路, 300V直流供電. 諧振實現(xiàn)零電流開通, 零電流自關(guān)斷, 基本可充到450V
用數(shù)個40W電感式鎮(zhèn)流器并聯(lián)得到0.5-1H電感即可.