薄膜電阻溫度系數(shù)的測試方法主要包括以下幾種：

1. 四探針法：這是一種常用的測量薄膜電阻率和電阻溫度系數(shù)的方法。通過在薄膜表面放置四個(gè)探針，形成一個(gè)閉合電路，測量通過薄膜的電流和電壓，從而計(jì)算出電阻值。隨著溫度的變化，電阻值也會(huì)發(fā)生變化，通過測量電阻值隨溫度變化的斜率，可以得到電阻溫度系數(shù)。

2. 熱線法：這種方法使用一個(gè)加熱的細(xì)線（熱線）作為傳感器，測量其電阻隨溫度變化的情況。熱線通常由鉑或鉑銠合金制成，具有很好的溫度穩(wěn)定性和精確度。通過控制熱線的溫度并測量其電阻變化，可以確定薄膜的電阻溫度系數(shù)。

3. 激光加熱法：利用激光對薄膜進(jìn)行局部加熱，通過測量加熱區(qū)域的電阻變化來確定電阻溫度系數(shù)。這種方法的優(yōu)點(diǎn)是可以在不接觸薄膜的情況下進(jìn)行測量，避免了接觸電阻的影響。

4. 電橋法：通過將薄膜電阻與已知溫度系數(shù)的標(biāo)準(zhǔn)電阻串聯(lián)或并聯(lián)，形成一個(gè)電橋電路。當(dāng)溫度變化時(shí)，電橋的平衡狀態(tài)會(huì)發(fā)生變化，通過測量電橋的不平衡電壓，可以計(jì)算出薄膜的電阻溫度系數(shù)。

5. 溫度循環(huán)法：將薄膜置于一個(gè)可控溫度環(huán)境中，使其經(jīng)歷溫度循環(huán)。通過測量薄膜在不同溫度下的電阻值，可以繪制出電阻-溫度曲線，從而得到電阻溫度系數(shù)。

6. 脈沖加熱法：通過向薄膜施加短暫的電流脈沖，使其迅速升溫，然后測量電阻的變化。這種方法可以在短時(shí)間內(nèi)獲得薄膜的電阻溫度系數(shù)，適用于快速測試。

每種方法都有其優(yōu)缺點(diǎn)，選擇哪種方法取決于薄膜材料的特性、所需的測量精度以及實(shí)驗(yàn)條件。在實(shí)際應(yīng)用中，可能需要結(jié)合多種方法來獲得更準(zhǔn)確的測試結(jié)果。